产品介绍
主要功能特点
参数设置完成后一键启动，无需人工干预
稳定可靠的硬件和软件控制系统
触摸屏控制，界面信息丰富，操作简单
气路：气路采用硅烷化处理不锈钢管或者peek，防止气体残留
可选购PC端软件控制
可设置母气浓度、目标气浓度，总流量，软件自动计算各MFC的流量， 也可以单独设置流量
可以设置稀释气体序列，按照时间或者外部事件启动，最多设置多个序列
气路自动检漏，故障报警
(部分功能为选购件)
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关键词：
检测仪器
