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2025-03


大气预浓缩仪和GC-MS的组合在半导体生产企业中的应用

大气预浓缩仪和气相色谱-质谱联用仪(GC-MS)的组合在半导体工厂主要有2方面的应用:1.在半导体生产过程中,洁净室内的气态分子污染物会沉积在晶圆表面,影响器件性能和良率。

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