大气预浓缩仪和GC-MS的组合在半导体生产企业中的应用
发布时间：
2025-03-16
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大气预浓缩仪和气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）的组合在半导体工厂主要有2方面的应用：1.在半导体生产过程中，洁净室内的气态分子污染物会沉积在晶圆表面，影响器件性能和良率。大气预浓缩仪可用于监测洁净室内外的AMC浓度，帮助识别污染来源；2. 在半导体制造过程中，使用的化学品（如清洗剂、光刻胶等）会释放挥发性有机化合物（VOCs），这些化合物可能对工艺和产品质量产生负面影响。利用大气预浓缩仪的超低温冷阱技术，实现对痕量VOCs的高效浓缩和检测。
大气预浓缩仪和气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）的组合的工作原理为：使用苏玛罐或采样袋采集洁净室内外的空气样本，通过三级冷阱预浓缩系统进行浓缩处理，去除水分和干扰气体后，将浓缩后的样本注入气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）进行定性和定量分析。该组合分析系统具有以下优势：1. 对于空气中所有VOCS能进行全真进样，无样品歧视。而譬如热脱附进样，由于采样管吸附填料对不同VOCs组分吸附效果存在差异，尤其是C1-C3的化合物吸附效果很差，导致热脱附+GCMS的组合无法实现对VOCs的全真分析；2.预浓缩仪进样方式相对灵活，可以数码罐，气袋及玻璃进样器进样，尤其采用数码罐收集VOCs的话，可以长期留样，且进完杨后余下的样品可以做为追溯样品长期保存，保存时间可以长达30天；3. 方法检测限可以做到PPT级别甚至更低；4. 数码罐采样相对于热解析管采样，采样更简单方便，采样人员只需携带数码罐到指定采样点，打开阀门瞬时即可完成采样。
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