大气预浓缩仪和GC-MS的组合在半导体生产企业中的应用
大气预浓缩仪和气相色谱-质谱联用仪(GC-MS)的组合在半导体工厂主要有2方面的应用:1.在半导体生产过程中,洁净室内的气态分子污染物会沉积在晶圆表面,影响器件性能和良率。大气预浓缩仪可用于监测洁净室内外的AMC浓度,帮助识别污染来源;2. 在半导体制造过程中,使用的化学品(如清洗剂、光刻胶等)会释放挥发性有机化合物(VOCs),这些化合物可能对工艺和产品质量产生负面影响。利用大气预浓缩仪的超低温冷阱技术,实现对痕量VOCs的高效浓缩和检测。
大气预浓缩仪和气相色谱-质谱联用仪(GC-MS)的组合的工作原理为:使用苏玛罐或采样袋采集洁净室内外的空气样本,通过三级冷阱预浓缩系统进行浓缩处理,去除水分和干扰气体后,将浓缩后的样本注入气相色谱-质谱联用仪(GC-MS)进行定性和定量分析。该组合分析系统具有以下优势:1. 对于空气中所有VOCS能进行全真进样,无样品歧视。而譬如热脱附进样,由于采样管吸附填料对不同VOCs组分吸附效果存在差异,尤其是C1-C3的化合物吸附效果很差,导致热脱附+GCMS的组合无法实现对VOCs的全真分析;2.预浓缩仪进样方式相对灵活,可以数码罐,气袋及玻璃进样器进样,尤其采用数码罐收集VOCs的话,可以长期留样,且进完杨后余下的样品可以做为追溯样品长期保存,保存时间可以长达30天;3. 方法检测限可以做到PPT级别甚至更低;4. 数码罐采样相对于热解析管采样,采样更简单方便,采样人员只需携带数码罐到指定采样点,打开阀门瞬时即可完成采样。